宣布时间:2024-10-30 16:54:05阅读量:
激光手艺,特殊是脉冲激光沉积手艺(PLD),在高性能膜质料的制备中施展着主要作用。这种手艺通过聚焦激光于靶材上,使用高能量密度将靶质料蒸发甚至电离,进而在基底上沉积形成薄膜。
化学因素一致性:确保镀膜与靶材因素一致,适用于重大复合质料。
高效生长:快速沉积,提高制备效率。
高区分率:实现微区沉积,薄膜质量高。
无邪气体引入:可原位引入多种气体,优化薄膜性能。
多层与异质膜制备:轻松制备多层和异质结构。
普遍适用性:适用于险些所有非透明质料。
激光手艺,特殊是脉冲激光沉积手艺,在高性能膜质料的制备中具有奇异的优势,为高性能膜质料的研发和应用提供了有力的手艺支持。
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